打通“超越摩尔”研发生产生态链 我国首条研发中试线在沪投入运营

　　昨天，国内首条全球领先的8英寸“超越摩尔”研发中试线正式运营。由上海微技术工业研究院构建的这条中试线，旨在打通从研发到小批量生产的超越摩尔产业生态链布局，助攻创新研发。

　　中试线运营副总裁游家杰介绍，今天，第一个温度传感器产品将在这条中试线上流片，第一批产品预计10月下旬初步跑通。整条中试线按规划未来产能可以达到每月3000片。

　　根据摩尔定律，当价格不变时，集成电路上可容纳的元器件数目，约每隔18—24个月会增加一倍，性能也将提升一倍。超越摩尔，是指无需遵循摩尔定律，在工艺尺寸上越做越小，而是在成熟的工艺生产线上，研发非数字、多元化半导体技术与产品，力争在传感器等其他新兴领域实现“换道超车”，这是另辟蹊径的一种反向突破。

　　“这是我们的‘镇宅之宝’！”上海微技术工研院总裁杨潇说，这条面向全国开放的8英寸研发中试线将成为一个创新设计的源头，不仅可以进行工艺研发，还可以实现和小批量生产的无缝对接，从而打通创新链和产业链，使得国内“超越摩尔”生态链得以完善。

　　中国科协副主席、中科院院士、中科院上海微系统与信息技术研究所所长王曦介绍，这条8英寸研发中试线将贯通“超越摩尔”研发到量产全程服务，专注于传感器等产品技术开发，重点部署了微机电系统、硅光子、3D集成等相关工艺和测量设备。

　　游家杰说，国内的高校、研究所和企业做了不少原创研发工作，但没有条件做中试，也就不可能投入市场。8英寸中试线的建成，正是为了加快这些原创成果市场化的速度。现在已有10多家企业找上门来洽谈了。

　　以8英寸线为支点，撬起一个功能型平台的作用已初显。到2020年，上海市将培育形成约30家研发与转化功能型平台，与张江综合性国家科学中心共同组成上海科创中心建设的“四梁八柱”。上海微技术工业研究院正是第一个启动的平台，试图打造集研发、工程、市场、孵化的一体化功能平台，为创新企业及合作伙伴提供全方位服务和解决方案。